滑动管式退火炉

滑动快冷管式炉的简介

滑动快冷管式炉，也叫做滑道管式炉、滑轨式管式炉、RTP快速退火炉（RTP红外灯管加热管式炉）、炉膛可移动式管式炉，它是一种新型的加热电炉设备，可在真空、气氛环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

滑动快冷管式炉采用滑动快冷技术，具有快速冷却的特点，能够在高温实验过程中快速冷却样品，为实验提供更加准确的实验数据和更好的实验效果。

滑道管式炉

RTP红外灯管加热管式炉一款精巧型快速热处理管式炉，配有石英腔体和真空法兰，采用红外灯管加热，升温速度可达50℃/秒，30段可编程序，PID自动控制，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。

RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)是一种快速退火炉，具有极快的升温速率。在烧结工艺完成后，它可以直接将试样移至室温下，实现快速降温。这种设备采用内管进气、外管出气的气路结构，确保反应气氛与加工样品均匀接触。此外，退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备，测温元件直接与试样接触，确保温度测量的准确性。

滑动快冷管式炉的组成结构

可选配置：该炉可配通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。

(1).双层钢结构，带冷却风扇。

(2).炉底装有一对滑轨，可以手动左右移动炉子。

(3).安装真空法兰和机械压力表，可立即使用。

滑动快冷管式炉主要由以下几个部分组成：

炉管：

炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料，具有高强度、耐高温、耐腐蚀等特点，能够承受高温和高压。

滑道管式炉（石英管）

滑动快热、快冷系统：

为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的炉子。

抽真空系统：

包括真空泵和真空测量系统，用于抽真空和保持高真空度。

控制系统：

可选择单设定点或30段可编程控制器。精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高；

滑动快冷管式炉的应用领域

退火炉是一款精巧型快速热处理管式炉， 是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备，它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计，采用红外灯管加热，最快升温速度为 50°C/秒.。

可在真空不同气氛空气不同环境下，对样品进行快速热处理，主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。

滑动管式炉技术参数

根据不同客户的现场实验条件，博纳热专业技术人员可为您量身定制不同参数和炉型！