真空炉的泄漏率是什么

真空炉的泄漏率是指气体从外部进入炉腔的速率，从而损害炉腔的真空环境。可接受的泄漏率取决于应用、炉设计和所需的真空水平。

高真空真空炉

真空炉典型泄漏率：

一般标准：

对于大多数工业真空炉，可接受的泄漏率约为 1 x 10⁻⁵ 至 1 x 10⁻⁶ mbar·L/秒。

对于超高真空 (UHV) 系统，可接受的泄漏率可能低至 1 x 10⁻⁸ mbar·L/秒或更低。

实际范围：

高真空炉：~1 x 10⁻⁵ mbar·L/秒。

超高真空炉：~1 x 10⁻⁷ 至 1 x 10⁻⁸ mbar·L/秒。

立式真空炉

影响真空炉泄漏率的因素：

1、密封件：

密封件(例如 O 形环、金属垫圈)的质量及其材料会显著影响泄漏率。

与金属密封件相比，弹性体密封件的渗透性可能更高。

2、结构材料：

真空密封材料(如不锈钢)具有最小的排气量，可减少泄漏。

3、腔体设计：

焊接和抛光腔体的固有泄漏量低于螺栓设计。

4、使用年限和维护：

由于磨损、密封件退化或污染，泄漏量可能会随着时间的推移而增加。

5、测试泄漏率：

氦气泄漏检测法通常用于测量和验证泄漏率。

测试包括在潜在泄漏点附近引入氦气，同时使用质谱仪监测氦气进入真空腔体的速率。

6、特定应用要求：

冶金热处理：略高的泄漏率可能是可以接受的。

半导体或先进材料：极低的泄漏率对于保持敏感工艺的原始真空至关重要。

将真空炉保持在规定的泄漏率内对于确保工艺一致性、产品质量和运行效率至关重要。定期维护和泄漏测试对于实现这一点至关重要。