产品介绍
对于应用于半导体封装等领域的高真空除气炉,其设计追求极高的真空度,如可达真空度高达10-7Pa。
真空除气炉设备配备智能控制系统,可自动记录存储温度、真空度、时间等数据,且除气工艺程序可以编辑、存储、一键启动。
此外,真空除气炉设备具备完备的保护措施,在停水、超温、短路、加热过流等情况下,具有自检、故障自诊断、自动保护功能。
设备应用
针对材料的高温烧结工艺保证耐热及绝缘性可靠性设计,新型电极结构避免了高温炉电极漏水现象,并且加热系统中的易损部件更便于维修和更换。
耐热性高
安全性好
维修高效
真空除气炉主要用于
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硬质合金
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陶瓷(氧化锆陶瓷、氧化铝陶瓷等)
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磁性材料
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粉末材料

技术参数
| 型号 | 加热区 | 温度 | 功率 | 电源 |
|---|---|---|---|---|
| BR-QHM-223 | 200*200*300 | 1350℃ | 42kW | 380V |
| BR-QHM-334 | 300*300*400 | 1350℃ | 72kW | 380V |
| BR-QHM-446 | 400*400*600 | 1350℃ | 120kW | 380V |
| BR-QHM-557 | 500*500*700 | 1350℃ | 160kW | 380V |
| BR-QHM-669 | 600*600*900 | 1350℃ | 225kW | 380V |






