金刚石退火真空炉

产品介绍

金刚石退火真空炉是一种用于在真空或惰性气体环境下对金刚石材料进行高温退火、烧结处理的专用设备。这种设备在材料科学、半导体制造、超硬材料加工等领域有重要应用。

可通入氩气、氮气等惰性气体，用于特定工艺需求。

温度范围：

低温退火：600~1200°C(用于表面改性)。

高温退火：1400~1700°C(用于深层次缺陷修复)。

时间控制：数分钟至数小时，依材料厚度和工艺目标调整。

金刚石退火真空炉应用领域

半导体行业：

CVD金刚石膜退火，提升其作为半导体衬底的质量(如用于高功率器件、散热基板)。

珠宝加工：

天然/人造金刚石的颜色优化(高温处理可改变氮-空位缺陷，影响颜色)。

量子技术：

金刚石中氮-空位色心(NV色心)的调控，用于量子传感与计算。

刀具与超硬材料：

以金刚石刀具(多晶金刚石刀具(PCD))的退火处理(退火温度600-700℃)，提高耐磨性和热稳定性。

设备优势

设备优势
- 金刚石退火真空炉优势在于其能够提供一个高温、高真空、高洁净度且精确可控的热处理环境。这不仅能有效防止金刚石材料的劣化(如氧化、石墨化)，更能主动地提升和优化其内在性能(如韧性、导热性、颜色纯度等)。
  1. 纯净的处理环境
  避免氧化和污染：真空环境(通常真空度在10⁻² Pa至10⁻⁵ Pa)彻底消除了氧气、水蒸气等活性气体。这使得金刚石在高达1000℃以上的退火温度下也不会被氧化或石墨化，保持了材料的化学纯净性。
  2. 精确的温度控制与均匀性
  精准控温：采用先进的温控系统和可靠的加热体(如石墨、钼、钨等)，能够实现极其精确的升温、保温和降温控制。这对于金刚石这种对温度极其敏感的材料至关重要，可以执行复杂的退火工艺曲线。
  3. 提升和优化金刚石性能
  消除内应力：通过精确的高温退火，可以有效消除金刚石在合成或机械加工过程中产生的内部应力，提高其韧性和抗冲击性能。
  调控颜色中心：对于电子级或量子级的金刚石，特定的退火工艺可以调控NV色心(氮-空位色心)等缺陷的结构和浓度，这是制造量子传感器和量子比特的关键步骤。
  4. 高安全性与可靠性
  稳定安全可靠的系统：设备通常配备多重安全保护系统，如超温保护、过流保护、断水保护、真空度联锁等，确保设备和工艺过程的安全可靠运行。
  5. 自动化与智能化
  工艺可编程：现代真空炉通常配备PLC(可编程逻辑控制器)和触摸屏人机界面，用户可以预先设定和存储多条复杂的工艺曲线，实现一键式自动化运行，减少人为操作误差。
  数据记录与追溯：系统可以实时记录并存储整个退火过程的温度、真空度、压力等关键参数数据，便于进行质量追溯和工艺分析。
  6. 广泛的工艺适应性
  多功能性：除了退火，该设备还可用于金刚石的烧结、钎焊(如金刚石工具的制造)以及高温净化等多种工艺。
  灵活的规格：可根据生产需求定制不同尺寸和规格的炉膛，满足从实验室研发到大规模工业生产的不同应用场景。

设备应用

针对材料的高温烧结工艺保证耐热及绝缘性可靠性设计，新型电极结构避免了高温炉电极漏水现象，并且加热系统中的易损部件更便于维修和更换。

耐热性高
安全性好
维修高效

金刚石退火真空炉主要用于

硬质合金
陶瓷（氧化锆陶瓷、氧化铝陶瓷等）
磁性材料
粉末材料

技术参数

型号	加热区	可使用温度	功率	电源
BR-QHM-223	200200300	500-1600℃	42kW	380V
BR-QHM-334	300300400	500-1600℃	72kW	380V
BR-QHM-446	400400600	500-1600℃	120kW	380V
BR-QHM-557	500500700	500-1600℃	160kW	380V
BR-QHM-669	600600900	500-1600℃	225kW	380V