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华为技术有限公司定制郑州博纳热电炉外加热式气氛炉发货

客户背景

华为技术有限公司作为全球领先的通信技术解决方案提供商,在半导体材料、新型电子元件研发等领域对高温热处理设备提出了严苛要求。需定制一款外加热式气氛炉,用于氮化硅等半导体材料的实验和小批量生产,要求设备具备高精度控温、预抽真空、惰性气体保护及快速交付能力。

华为技术

需求分析

1、技术需求

温度范围:需覆盖室温至1000℃,长期稳定运行。

控温精度:±1℃,支持多段编程自动控温。

气氛控制:预抽真空至-0.08MPa,通入氮气或氩气以降低氧含量。

结构设计:全密闭炉膛,双层风冷外壳,确保安全性和散热效率。

2、定制化需求

炉膛尺寸:根据华为实验样品规格,定制300×300×400mm的炉膛空间。

配件扩展:集成触摸屏操作界面、三路气体流量控制系统及直连式真空泵。

3、交付要求

快速生产:从下单到交付需在30天内完成。

技术支持:提供现场安装调试及终身维护服务。

外加热式气氛炉

解决方案

郑州博纳热窑炉有限公司基于其箱式气氛炉得基础上,为华为量身定制了BR-TF1000外加热式气氛炉,具体方案如下:

1、核心参数优化

温度控制:采用工业级0.2精度PID仪表,50段可编程曲线,支持0-20℃/分钟加热速率,确保材料处理工艺的精确复现。

炉膛尺寸:φ400x600mm

真空与气氛系统:预抽真空后通入氮氢混合气体,并通过浮子流量计实现气体流量精准调节。

2、定制化功能升级

智能交互:集成7寸触摸屏及电脑连接软件,支持工艺曲线存储与远程监控。

安全防护:超温报警、热电偶断裂保护及漏电断路器,符合实验室安全标准。

3、罐体外热式气氛炉技术参数

序号技术参数BR-TF1000
1额定加热功率40KW(±10%)
2设计温度1000℃
3长期工作温度≤1000℃(此温度为验收温度)
4加热元件北京首钢HRE丝
5控温精度充气时±2℃;稳定时±1℃
6温度均匀性1000℃时三芯热电偶检测有效工作区±5℃
7炉膛尺寸(宽×高×长)

φ400x600mm

8工作压力≤0.03MPa
9冷态极限真空度7X10-3Pa(空炉并经净化)
10测温传感器K型热电偶
11冷却方式充气自然冷却
12保护气氛氧气、氮气、氩气、空气等
14控制方式手动/自动自由切换
15炉体加热方式热壁式加热(外加热)
17控制方式

PID控制

18升温速率≤10℃/min

3、交付与服务

依托博纳热自有生产线,30天内完成设备组装并通过72小时老化测试。

提供一年整机质保及成本价配件供应,技术人员现场调试并培训操作流程。

实施效果

效率提升:设备交付后,华为实验室成功将氮化硅烧结周期缩短30%,良品率提升至98%以上。

工艺适配性:多段编程功能支持复杂热处理曲线,满足半导体材料研发的多样化需求。

长期合作:基于此次合作,华为与博纳热签署战略协议,后续定制多台大功率气氛炉用于6G材料量产。

客户评价

“博纳热团队的专业性和响应速度令人印象深刻,定制化方案完全契合我们的技术要求,设备运行稳定,为研发效率提供了有力保障。”

——华为材料实验室负责人

案例总结

郑州博纳热通过技术定制+快速交付模式,为华为提供了高性能外加热式气氛炉,展现了其在高温设备领域的技术积累与服务能力。

博纳热集团

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