华为技术有限公司定制郑州博纳热电炉外加热式气氛炉发货
客户背景
华为技术有限公司作为全球领先的通信技术解决方案提供商,在半导体材料、新型电子元件研发等领域对高温热处理设备提出了严苛要求。需定制一款外加热式气氛炉,用于氮化硅等半导体材料的实验和小批量生产,要求设备具备高精度控温、预抽真空、惰性气体保护及快速交付能力。
需求分析
1、技术需求
温度范围:需覆盖室温至1000℃,长期稳定运行。
控温精度:±1℃,支持多段编程自动控温。
气氛控制:预抽真空至-0.08MPa,通入氮气或氩气以降低氧含量。
结构设计:全密闭炉膛,双层风冷外壳,确保安全性和散热效率。
2、定制化需求
炉膛尺寸:根据华为实验样品规格,定制300×300×400mm的炉膛空间。
配件扩展:集成触摸屏操作界面、三路气体流量控制系统及直连式真空泵。
3、交付要求
快速生产:从下单到交付需在30天内完成。
技术支持:提供现场安装调试及终身维护服务。
解决方案
郑州博纳热窑炉有限公司基于其箱式气氛炉得基础上,为华为量身定制了BR-TF1000外加热式气氛炉,具体方案如下:
1、核心参数优化
温度控制:采用工业级0.2精度PID仪表,50段可编程曲线,支持0-20℃/分钟加热速率,确保材料处理工艺的精确复现。
炉膛尺寸:φ400x600mm
真空与气氛系统:预抽真空后通入氮氢混合气体,并通过浮子流量计实现气体流量精准调节。
2、定制化功能升级
智能交互:集成7寸触摸屏及电脑连接软件,支持工艺曲线存储与远程监控。
安全防护:超温报警、热电偶断裂保护及漏电断路器,符合实验室安全标准。
3、罐体外热式气氛炉技术参数
序号 | 技术参数 | BR-TF1000 |
---|---|---|
1 | 额定加热功率 | 40KW(±10%) |
2 | 设计温度 | 1000℃ |
3 | 长期工作温度 | ≤1000℃(此温度为验收温度) |
4 | 加热元件 | 北京首钢HRE丝 |
5 | 控温精度 | 充气时±2℃;稳定时±1℃ |
6 | 温度均匀性 | 1000℃时三芯热电偶检测有效工作区±5℃ |
7 | 炉膛尺寸(宽×高×长) | φ400x600mm |
8 | 工作压力 | ≤0.03MPa |
9 | 冷态极限真空度 | 7X10-3Pa(空炉并经净化) |
10 | 测温传感器 | K型热电偶 |
11 | 冷却方式 | 充气自然冷却 |
12 | 保护气氛 | 氧气、氮气、氩气、空气等 |
14 | 控制方式 | 手动/自动自由切换 |
15 | 炉体加热方式 | 热壁式加热(外加热) |
17 | 控制方式 | PID控制 |
18 | 升温速率 | ≤10℃/min |
3、交付与服务
依托博纳热自有生产线,30天内完成设备组装并通过72小时老化测试。
提供一年整机质保及成本价配件供应,技术人员现场调试并培训操作流程。
实施效果
效率提升:设备交付后,华为实验室成功将氮化硅烧结周期缩短30%,良品率提升至98%以上。
工艺适配性:多段编程功能支持复杂热处理曲线,满足半导体材料研发的多样化需求。
长期合作:基于此次合作,华为与博纳热签署战略协议,后续定制多台大功率气氛炉用于6G材料量产。
客户评价
“博纳热团队的专业性和响应速度令人印象深刻,定制化方案完全契合我们的技术要求,设备运行稳定,为研发效率提供了有力保障。”
——华为材料实验室负责人
案例总结
郑州博纳热通过技术定制+快速交付模式,为华为提供了高性能外加热式气氛炉,展现了其在高温设备领域的技术积累与服务能力。
郑州博纳热电炉工厂实景